牛津二手CMI700銅厚測(cè)量?jī)x,可測(cè)量面銅和孔銅,也可單配一種功能,
CMI 700配置包括:
- CMI 700主機(jī)
- SRP-4探頭
- SRP-4探頭替換用探針模塊(1個(gè))
- NIST認(rèn)證的校驗(yàn)用標(biāo)準(zhǔn)片
選配配件:
TRP探頭
SRP-4面銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù):
銅厚測(cè)量范圍:
化學(xué)銅:10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)
電鍍銅:0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)
線形銅可測(cè)試線寬范圍:8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)
準(zhǔn)確度:±1% (±0.1 μm)參考標(biāo)準(zhǔn)片
精確度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2 %;電鍍銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.5 %
分辨率:0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm
ETP孔銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù):
可測(cè)試最小孔直徑:35 mils (899 μm)
測(cè)量厚度范圍:0.08 – 4.0 mils (1 – 102 μm)
電渦流原理:遵守ASTM-E376-96標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定
準(zhǔn)確度:±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
精確度:1.2 mil(30μm)時(shí),達(dá)到1.0% (實(shí)驗(yàn)室情況下)
分辨率:0.01 mils (0.1μm)