KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術(shù)實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的精確測(cè)量，其測(cè)量范圍從nm-mm，可實(shí)現(xiàn)如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導(dǎo)體膜、有機(jī)薄膜、導(dǎo)電透明薄膜等膜厚精確測(cè)量，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產(chǎn)品，可測(cè)量從幾mm到450mm大小的樣品，薄膜厚度測(cè)量范圍1nm到mm級(jí)。Filmetrics F10-RT以真空鍍膜為設(shè)計(jì)目標(biāo)，只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。 不需要費(fèi)時(shí)改變硬件配置，F(xiàn)10-RT-UV 僅需要透過(guò)單擊鼠標(biāo)就能夠同時(shí)收集反射與透射光譜，不到一秒鐘的時(shí)間，陣列的光譜儀就可以快速的收集到資料。另外，F(xiàn)ilmetrics 的Autobaseline 設(shè)計(jì)可以減少十倍以上的基準(zhǔn)校準(zhǔn)的參數(shù)讀取時(shí)間。只需傳統(tǒng)價(jià)格的一小部分，用戶就能進(jìn)行低/分析、確定 FWHM 并進(jìn)行顏色分析。可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。測(cè)量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印。

一、 主要功能

l 主要應(yīng)用

同步測(cè)量薄膜的反射率和穿透率

? 空間色彩系統(tǒng)的色彩分析

? 多層薄膜分析能力

? 膜厚和參數(shù)解算模塊

l 技術(shù)能力

光譜波長(zhǎng)范圍：380-1050 nm

厚度測(cè)量范圍：15nm-70μm

測(cè)量n&k小厚度：100 nm

準(zhǔn)確度：取較大值，2nm或0.4%

精度：0.1nm

穩(wěn)定性：0.07nm

光斑大?。?mm

二、 應(yīng)用

半導(dǎo)體制造：光刻膠、氧化物、氮化物

液晶顯示器：液晶間隙、聚酰亞胺保護(hù)膜、納米銦錫金屬氧化物

生物醫(yī)療原件：聚合物/聚對(duì)二甲苯涂層、生物膜/氣泡球厚度、藥物涂層支架

微機(jī)電系統(tǒng)：硅膜、氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

光學(xué)鍍膜：硬鍍膜、增透鍍膜、Filters濾光