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FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 日立集團
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2023/2/16 10:04:03
  • 訪問次數(shù) 95

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追求的TEM樣品制備工具 在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。近來,目標觀察物更趨微細化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進一步凸顯。日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000

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FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000

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追求的TEM樣品制備工具

在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。
近來,目標觀察物更趨微細化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進一步凸顯。
日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000

  • 特點

  • 規(guī)格

  • 選購件

特點

運用高對比度,實時SEM觀察和加工終點檢測功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品





FIB加工時的實時SEM觀察*2
樣品:NAND閃存
加速電壓:1 kV
FOV:0.6 µm

加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺)對于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。


加工方向控制


常規(guī)加工時

Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動化

EB:Electron Beam(電子束)
FIB:Focused Ion Beam(聚焦離子束)
Ar:Ar ion beam(Ar離子束)

規(guī)格

項目內(nèi)容
FIB鏡筒
分辨率 4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV
加速電壓 0.5~30 kV
束流 0.05 pA ~ 100 nA
FE-SEM鏡筒
分辨率 2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV
加速電壓 0.5~30 kV
電子槍 冷場場發(fā)射型
探測器
標準検出器 In-lens 二次電子探測器/樣品室二次電子探測器/背散射電子探測器
樣品臺 X:0 ~ 205 mm
Y:0 ~ 205 mm
Z:0 ~ 10 mm
R:0 ~ 360°連續(xù)
T:-5 ~ 60°

選購件

  • Ar/Xe離子束系統(tǒng)
  • Micro-sampling®*3系統(tǒng)
  • 缺陷檢測設(shè)備聯(lián)用軟件
  • CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件
  • EDS(能譜儀)
  • TEM樣品精加工向?qū)?/li>
  • TEM樣品厚度管理軟件
  • 連續(xù)A-TEM
  • 實時畫質(zhì)優(yōu)化系統(tǒng)
  • Swing加工功能(用于Triple Beam®*1
  • 等離子清洗機
  • 真空轉(zhuǎn)移機構(gòu)
  • 冷臺

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)
  • 透射電子顯微鏡 (TEM/STEM)


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