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微型采樣系統(tǒng)

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公司名稱 日立集團(tuán)
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更新時(shí)間 2023/2/16 10:06:38
訪問次數(shù) 94

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

優(yōu)異的高效分析性能微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 m以下。

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微型采樣系統(tǒng)

優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。

特點(diǎn)
系統(tǒng)配置實(shí)例
觀察事例

特點(diǎn)

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例

一個(gè)微柱狀樣品，包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統(tǒng)配置實(shí)例

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導(dǎo)體裝置評(píng)估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對(duì)材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時(shí)即可完成。