該導航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設計圖形和FIB的觀察圖像相對應起來。當CAD系統(tǒng)中的坐標位置，樣品臺就會通過鏈接移動到相應位置，就可以獲得相應位置的SIM圖像。同時，CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此，很容易檢查到下層布線的狀態(tài)，實質上提高了分析的效率，有利于進一步進行修理工作。